制氮機制取的氮氣中的氧氣含量小于0.5%時,可以用脫氧劑直接除氧；要是含氧量為0.5-3%時,應當用催化劑加氫除氧；要是含氧量大于3%時應當用分級催化進行除氧。
氮氣中要是含氧過高,一次全部加入時,可能有爆炸的危險，必須嚴格控制加氫量進行分級除氧。原料氮氣中含氧量過高時,亦可用部分純氮稀釋原料氣,使混合氣體中含氧量小于3%再進行加氫催化除氧。
采用脫氧劑清除雜質氧的典型工藝流程:氮氣經催化除氧器(除去氧)，水冷卻器和吸附干燥器(除去水汽)、氣體過濾器(除去塵埃顆粒)后,即得純氮產品。
當氮氣中含氧量較大(大于3%) ,可采用分級加氫催化除氧工藝,氮氣在進入催化除氧器前,需要嚴格控制加氫量,通過催化除氧器(一次除氧) ,再加入少量氫氣進入催化除氧器2進行二次除氛。
制氮機在原料氮氣中可以根據氧的含量,往里面添加過量的氫后能通過催化除氧器進行除氧，之后再通過電加熱器和氧化反應將氮氣中過量氫氣除去。
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